报告题目：基于超快激光微纳加工的半导体器件图案化设计

报 告 人：王江 （西北工业大学）

报告时间：2024年5月14日（星期二）下午15：00 - 16：00

报告地点：激光光谱研究所三层报告厅

报告简介：

      半导体材料器件表面不同形貌和尺寸的微纳结构图案化设计和高精度可控制备，可使其具有独特的电学、光学、热力学和机械学等性能，在生物、国防、信息、医疗等领域有着巨大的应用价值和广阔的应用前景，探寻简单高效的微纳加工方法具有重要意义。超快激光加工基于光与物质之间的相互作用，是一种高效、无接触、无掩模、高分辨的微图像化技术，对高端制造和基础科研等各个领域具有重要意义。本报告将介绍我们基于超快激光技术在单晶硅、ITO玻璃、碳化硅等材料表面上图案化设计的研究工作。针对钙钛矿光电探测器热稳定性差、光电转换效率低等问题，提出基于超快激光直写技术对钙钛矿衬底进行表面微纳加工，通过微纳结构特征调控钙钛矿探测器的光电响应特性，并开展其在光通信、偏振成像等领域的应用研究。针对半导体材料表面微纳结构加工精度和质量提升两方面需求，研究了不同激光参数下，超快激光辐照半导体材料表面的极小特征尺寸纳米凹槽和大面积纳米光栅的形成规律，为工艺技术提升、参数窗口优化和形成机制理解提供实验和理论支撑。

报告人简介：

       王江，山西大同人，副教授，硕士生导师。主要研究方向为激光探测、激光加工、微纳结构、光电器件。近年来在Nanophotonics、Photonics Research、Journal of Materiomics等高水平期刊上发表论文40余篇，主持高能超快激光器件毁伤特性、激光光场控制系统等项目；参与液体火箭发动机燃烧诊断、激光频率梳、光学材料损伤实验等重大项目。